В производстве полупроводниковых пластин невидимая пылинка или микровольтный электростатический разряд (ЭСР) могут уничтожить обработанные субмикросные микрочипы стоимостью в миллионы долларов. Как сообщают EIN News (https://www.einnews.com/pr_news/939317799/cleanroom-technology-market-to-reach-usd-21-55-billion-by-2035-at-7-26-cagr) и глобальные аналитические обзоры объектов от Cleanroom Technology (https://cleanroomtechnology.com/what-is-happening-with-the-cleanroom-market-in), массивные мировые инвестиции в капитал, обусловленные законом CHIPS Act, выводят рынки технологий чистых помещений на уровень 21,5 миллиарда долларов. Для предприятий с передовой литографией и производством пластин, работающих в условиях чистоты от ISO Класс 1 до ISO Класс 4, традиционные гипсовые перегородки и пенопанели низкой жесткости строго запрещены. Отрасль стандартизировала использование сверхплоских негорючих алюминиевых сотовых сэндвич-панелей.
| Чистое помещение Фактор производительности | Стандартная композитная стеновая панель | Алюминиевая сотовая панель для чистого помещения |
| Материал структурного сердечника | Минеральная вата или полимерный пенопласт | Шестигранная авиационная алюминиевая фольга |
| Класс пожарной безопасности | Класс A / Класс B | Класс 0 / Класс A (100% металл) |
| Поверхностное сопротивление (ЭСР) | Непроводящий (> 10¹² Ом/кв) | Антистатический: 10⁶ — 10⁹ Ом/кв |
| Риск газовыделения (ЛОС) | Остаточные клеи / испарения связующего | Нулевое содержание ЛОС, склеивание без растворителей при запекании |
Инженерное превосходство алюминиевых сотовых панелей начинается с соотношения конструкционной жесткости и веса. Используя сердечники из шестигранной авиационной алюминиевой фольги, соединенные под непрерывным нагревом и давлением с двусторонними стальными или алюминиевыми обшивками, эти панели обеспечивают практически нулевое прогибание поверхности на больших вертикальных пролетах. В средах с рециркуляцией ламинарного воздушного потока высокой скорости, где потолочные вентиляторные фильтры (FFU) создают непрерывные импульсы давления воздуха, гибкие стены вибрируют, создавая микротрещины вдоль швов панелей, которые выделяют воздушные частицы в линии фотолитографии. Жесткие алюминиевые соты полностью исключают воздушную вибрацию.
Еще более критичным является рассеивание электростатического заряда. Трение между циркулирующим сухим воздухом и облицовкой стен естественным образом создает статические заряды, превышающие десятки тысяч вольт. Неконтролируемые статические разряды не только выводят из строя микросхемы напрямую, но и действуют как электромагнитные магниты, которые с силой притягивают переносимые по воздуху субмикроновые частицы на кассеты с пластинами. Стеновые панели премиум-класса для полупроводниковых чистых помещений, поставляемые с hihsteel.com Серия чистых помещений, оснащены специальными проводящими покрытиями со стабильным поверхностным сопротивлением от 10⁶ до 10⁹ Ом/кв. Это позволяет статическим электрическим зарядам безопасно стекать на заземляющие шины за миллисекунды без возникновения искр.
Более того, мегафабы работают строго в соответствии с правилами нулевого газовыделения. Следовое молекулярное загрязнение воздуха (AMC), такое как летучие органические соединения (ЛОС) или пары силикона, выделяющиеся из низкокачественных клеев, может покрыть оптические зеркала EUV-литографии, что приведет к необратимому повреждению оборудования. Спроектированные на заводе алюминиевые сотовые панели используют эпоксидные полимеры без растворителей, отвержденные при высокой температуре, что обеспечивает полную химическую нейтральность. Для подрядчиков ЕРС полупроводниковых предприятий и инженеров по обслуживанию объектов прямое сотрудничество с высокопроизводительным OEM-производителем гарантирует точность вырезов с ЧПУ для камер возврата HEPA, бесшовную интеграцию заподлицо окон и быструю доставку контейнеров по всему миру.
